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质量流量计，英文Mass Flow Meter简称MFM，用来快速精确测量过程气体流量大小的精密传感器这里讲的质量流量计主要应用于低压小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa流量范围一般为01sccm。

先关闭仪器如果是转子不转动，可能是过滤器堵塞需要清洗过滤器，再检查过滤网有无损坏和清洗流量计内部。