1、光学轮廓仪，目前国内我们是一个有口皆碑的品牌SuperView系列光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理结合精密Z向扫描模块3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的；在金属光滑凹面轮廓测量和超光滑透镜测量中，这种仪器的独特优势尤为显著它不仅能测膜层厚度，还能提供2D和3D参数的综合评价，以ISOASMEEURGBT标准为依据，为材料性能分析和精密制造提供强有力的数据支持光学3D表面轮廓仪的应用范围广泛，涵盖材料科学半导体制造电子设备精密配件等多个领域通过；2非接触式轮廓仪光学轮廓仪非接触式轮廓仪光学轮廓仪是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器，可测各类从超光滑到粗糙低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度平整度微观几何轮廓曲率等，提供依据ISOASMEEURGBT四大国内外标准共计300余种2D3D。

2、布鲁克尔Bruker，美国的ContourGTK光学轮廓仪，凭借卓越的性能和精密的测量技术，引领表面形态检测的新纪元设备概览与参数 这款轮廓仪拥有卓越的性能参数垂直测量范围从01纳米至10毫米，快速的扫描速度可达每秒281微米横向分辨率从008到131微米，保证了极高的分辨率倾斜调制范围6TipTi；国外的应属英国泰勒，德国马尔，但是价格要贵一些，国内的品牌威尔量仪主要生产的轮廓仪，粗糙度轮廓仪设备。

3、光学轮廓仪，以美国Bruker公司的ContourGTK为例，是一款采用非接触式光学干涉法的精密测量设备它的主要特性包括垂直测量范围广泛，从01nm到10mm，扫描速度高达281μms，提供多种分辨率选择，从008至131μm设备具备6TipTilt倾斜调制，视场范围包括1903*2500μm450*600μm95*120。

4、SuperViewW光学3D表面轮廓仪具备高精度大扫描范围特性，采用扩展型相移算法EPSI，自动扫描滤噪重建超光滑表面区域光学3D表面轮廓仪适用于各种反射率样品，如玻璃透镜蓝宝石玻璃等，检测粗糙度曲率半径等参数，评估表面质量它适用于材料学研究与应用，测量微观形貌，包括金属陶瓷塑料等。