氦质谱检漏仪生产厂家有科创真空德国普发ADT超钜微检昊量光电VARIAN瓦里安等氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪氦质谱检漏仪,是用氦气作为示踪气体。
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